Процедуры работы лазерного интерферометра ZYGO

Включение и выключение интерферометра и основные шаги измерения

Последовательность включения питания

1. Включите компьютер и монитор.

Вход: Имя пользователя: zygo

Пароль: Нет

Вход в операционную систему

2. Включите питание хоста интерферометра и нагрейте интерферометр в течение 15-20 минут, чтобы он работал стабильно.

3. Дважды щелкните значок MetroPro на рабочем столе компьютера, чтобы войти в измерительное программное обеспечение MetroPro.

Включите выключатель питания, и индикатор загорится.

Основные шаги измерения

1. Щелкните левой кнопкой мыши соответствующий значок приложения измерения, чтобы открыть тестовое приложение.

Например: откройте GPI.app

2. Постройте тестовый оптический путь (включая стандартное зеркало и образец), отрегулируйте интерференционные полосы и обратитесь к конкретному методу измерения сзади.

Настройте оптический путь теста (включая стандартное зеркало и образец) и отрегулируйте полосы взаимодействия. Настройте необходимые параметры измерения в программном обеспечении MetroPro, см. Руководство по программному обеспечению MetroPro.

3. Нажмите кнопку «Измерить» в программном обеспечении или нажмите кнопку F1 на клавиатуре, чтобы завершить измерение и отобразить результаты.

4. Сохраните отчет об испытаниях. Нажмите на символ «zygo» левой кнопкой мыши, чтобы распечатать или сохранить изображение окна.

5. Нажмите кнопку «Сохранить данные» в программном обеспечении, чтобы сохранить тестовые данные.

Процедура выключения

1. Закройте программное обеспечение MetroPro.

Нажмите кнопку X в правом верхнем углу MetroPro, появится диалоговое окно, нажмите ДА, чтобы закрыть программное обеспечение MetroPro.

2. Выключите основной блок интерферометра.

Выключите выключатель питания основного блока, и индикатор погаснет.

3. Выключите компьютер и монитор.

Установите элемент трансмиссии

Предупреждение!

Не прикасайтесь к пропускающим элементам руками во время следующих шагов. Отпечатки пальцев могут навсегда повредить оптический

Покрытие и поверхность оптики.

1. Снимите пропускающий элемент с защитного футляра, схватив металлический край элемента.

2. Совместите два металлических выступа на краю пропускающего элемента с двумя соответствующими прорезями на регулирующем кронштейне основного блока.

ВНИМАНИЕ!

Когда система установлена в вертикальной конфигурации, не отпускайте пропускающий элемент, пока он не будет заблокирован на месте, следуя шагам ниже.

3. Осторожно защелкните пропускающий элемент в регулировочный кронштейн мейнфрейма, удерживая металлические края группового элемента на месте рукой. Поверните черную фиксирующую ручку

Поверните черную ручку блокировки по часовой стрелке, чтобы закрепить устройство на кронштейне регулировки.

ПРИМЕЧАНИЕ. Когда пришло время снимать устройство с кронштейна регулировки, удерживайте устройство рукой от металлического края устройства, поворачивая ручку блокировки против часовой стрелки.

Когда пришло время снимать модуль с регулировочного кронштейна, удерживайте модуль вручную за металлический каркас модуля и ослабьте крепежные винты против часовой стрелки.

Калибровка пропускающего элемента

Прежде чем вы сможете провести измерения с помощью интерферометра, вы должны согласовать пропускающий элемент с интерферометром, а затем выровнять измерительный образец с пропускающим элементом.

Затем выровняйте измерительный образец с пропускающим элементом. Как выровнять пропускающий элемент, описано ниже. Калибровка измерительного образца подробно описана в разделе "Измерение качества поверхности".

Измерение качества поверхности» и «Измерение качества переданного волнового фронта».

1. Убедитесь, что переключатель световой полосы находится в положении ON. (Убедитесь, что переключатель световой полосы находится в положении ON.)

2. Нажмите кнопку ALIGN/VIEW на пульте дистанционного управления. Откалиброванное перекрестие цели и одна или несколько ярких точек будут отображаться на мониторе.

На мониторе. Самая яркая точка представляет собой отражение света от внешней поверхности пропускающего элемента.

Измерение качества поверхности

Образец, подлежащий измерению, калибруется с помощью пропускающего элемента. После того, как образец был откалиброван, измерение-это просто нажатие клавиши Measure в программном обеспечении MetroPro. Независимо от того, размещен ли интерферометр вертикально или горизонтально, общепризнано, что измерительная полость (или расстояние между образцом и стандартным зеркалом) должна быть как можно больше.

Расстояние от образца до стандартного зеркала) как можно короче. Это позволит свести к минимуму искажение измеренного волнового фронта потоком воздуха.

Установка контрольного зеркала Transmission Flat (TF): поместите два металлических штифта на линзе в направляющие на регулировочной рамке интерферометра.

1. Сдвиньте два металлических pВставьте линзы в прорези на регулирующем кронштейне интерферометра, удерживайте металлическую рамку линзы и поверните линзу по часовой стрелке, затем затяните фиксирующую ручку сбоку.

Затем затяните фиксирующую ручку сбоку.

2. Выровняйте стандартный объектив: нажмите кнопку ALIGN/VIEW на пульте дистанционного управления, чтобы переключить экран дисплея в состояние ALIGN, и изображение нити перекрестия появится в плоскости. Отрегулируйте две ручки на кронштейне регулировки основного блока интерферометра до тех пор, пока самая яркая точка света на экране не окажется в центре поперечной нити накала. 3.

3. Установите образец, который нужно измерить на рамке регулировки измерения: отрегулируйте ручку наклона рамки регулировки до тех пор пока яркий пункт измеренной части на экране не будет также в центре линии перекрестных волос, совпадая с пунктом отраженного света объектива.

4. Снова нажмите кнопку ALIGN/VIEW на пульте дистанционного управления, чтобы переключить экран дисплея в положение «Просмотр», и на экране должны появиться полосы помех. Нажмите кнопку ZOOM, чтобы увеличить и уменьшить масштаб, чтобы изображение поверхности, которую вы хотите измерить, как можно больше заполняло экран. 5.

5. Поместите лист бумаги или другой маркер как можно ближе к измеряемой детали, это обеспечит четкий край для фокусировки. Нажмите кнопку FOCUS на пульте дистанционного управления, чтобы сфокусироваться, сделав изображение от края до края, и сфокусируйте, чтобы сделать его от края до края.

6. Точная настройка ручки регулировки наклона стойки регулировки образца для того чтобы обнулить вне полосы (так, что полосы взаимодействия будут уменьшены).

7. Нажмите кнопку MEASURE на MetroPro или клавишу F1 на клавиатуре, чтобы выполнить измерение.

Техническое обслуживание основного блока интерферометра

Меры предосторожности при использовании инструмента

1. Не прикасайтесь к основному блоку или антивибрационной платформе во время измерения.

2. Чтобы свести к минимуму риск поражения электрическим током, инструмент должен быть хорошо заземлен через выход источника питания.

3, в руководстве по интерферометру прочитать о инструкциях по технике безопасности лазера.

4. Не перемещайте основной блок. Если необходимо переместить, используйте две специальные ручки, разработанные в верхней части инструмента, чтобы

Если необходимо переместить, используйте две специальные ручки, разработанные в верхней части инструмента, чтобы перемещать его осторожно, и не прикасайтесь к пьезоэлектрической керамике непосредственно руками, чтобы переместить ее с силой.

Пьезоэлектрическая керамика представляет собой высокоточную структуру, которую легко повредить силой, поэтому в любое время избегайте воздействия внешней силы на нее. Как показано на рисунке:

Обслуживание хоста

Основной блок практически не требует обслуживания, однако очень важно работать с прибором в относительно чистой среде.

Тем не менее, очень важно работать с прибором в относительно чистой среде. Если вам нужно очистить корпус основного блока, выполните следующие действия.

1. С помощью средства для чистки мебели умеренного pH вытрите отпечатки пальцев и пыль с боковых сторон и передней панели основного блока мягкой тканью, смоченной небольшим количеством средства для чистки.

Панель, например отпечатки пальцев и пыль.

2. Используйте сухую ткань, чтобы очистить компоненты от пыли. Не используйте чистящие средства или спреи рядом с оптикой.

Линза имеет оптическое покрытие, и чистящие спреи могут повредить поверхность. Раздел, посвященный очистке системы линз, см.

Раздел «Очистка оптики» в следующей главе.

Обслуживание компьютерных компонентов

Обратитесь к документации производителя для обслуживания компонентов, включая компьютер, цветной монитор, мышь, клавиатуру и принтер (если установлен).

К обслуживаемым компонентам относятся компьютер, цветной монитор, мышь, клавиатура и принтер (если он установлен).

Если у вас возникли проблемы и вы не можете найти проблему, свяжитесь с Zygo.

Обслуживание и чистка оптики

Обслуживание оптики

Когда интерферометр не используется в течение длительного периода времени после завершения измерения, осторожно снимите линзу и другую оптику и храните их в специальном футляре для линз.

Храните их в специальном футляре для линз.

Чистящая оптика

Чистка любой прецизионной оптики может повредить поверхность. Все очищаемые поверхности линз имеют покрытие.

Все очищаемые поверхности линз имеют покрытие. Ненужная и неправильная чистка может легко повредить покрытие. Мы должны правильно держать нашу оптику и держать ее в сторонке, когда она не используется.

Компоненты правильно, верните их в пластиковые ящики, когда они не используются, и поддерживайте чистую среду, чтобы свести к минимуму количество циклов очистки.

Количество чисток должно быть сведено к минимуму.

Не пытайтесь чистить оптику внутри основногоУстройство, так как это повлияет на производительность системы. При необходимости свяжитесь с Zygo.

При необходимости свяжитесь с Zygo.

Рекомендуемые чистящие материалы

Полиэтиленовые лабораторные перчатки

Надевайте перчатки, чтобы предотвратить загрязнение поверхностей устройства и защитить кожу от контакта с вредными и раздражающими химическими веществами.

Веществ.

Сжатый газ с соплом

Сжатый газ с соплом используется для выдува пыли и грязи с поверхности оптики.

Зеркальная бумага

Используется для очистки поверхности оптики при необходимости. Зеркальная бумага должна быть специализированной для протирки прецизионной оптики.

Ватные палочки

Ватные палочки, используемые для очистки труднодоступных поверхностей, должны быть изготовлены из дерева и бумаги, хлопка и других материалов. Пластиковые стержни растворяются в ацетоне

Пластиковые стержни будут растворяться в ацетоне.

Растворители

Используйте изопропиловый спирт и метанол спектрального класса для очистки загрязнений, прилипающих к оптическим поверхностям. Используйте нейтральный 1% мыльный раствор или оптический очиститель.

Концентрированный мыльный раствор или оптический очиститель для очистки загрязнений на масляной основе.

Рекомендуемые процедуры очистки

Предупреждение!

Необходимо соблюдать осторожность при использовании изопропилового этанола и метанола; они легковоспламеняющиеся и токсичные. Не используйте повторно чистящие салфетки; повторное использование может привести к прилипанию грязи и повреждению оптики.

Перед чисткой оптики снимите украшения, такие как кольца, с пальцев и запястий, тщательно вымойте руки, чтобы удалить кожные масла, и наденьте перчатки.

Процедура очистки от загрязнений

Пыль или мелкое загрязнение

1. Сдуйте насадкой любые незакрепленные мелкие частицы пыли или загрязнений.

2. Если пыль все еще присутствует, оберните два листа зеркальной бумаги вокруг деревянного тампона или сложите лист зеркальной бумаги так, чтобы он был шире очищенной части.

3. Нанесите на бумагу каплю этанола или метанола.

4. Протрите объектив один раз в одном направлении. Если требуется больше протирания, используйте новый деревянный тампон и зеркальную бумагу. Отпечатки пальцев, масляные и водяные следы ПРИМЕЧАНИЕ: Это состояние необходимо немедленно очистить с поверхности. Кислоты на коже могут повредить поверхность линз.

5. Сдуйте мелкую пыль или грязь с помощью распылительной насадки.

6. Если грязь все еще присутствует, оберните два листа зеркальной бумаги вокруг деревянной палочки или сложите лист зеркальной бумаги так, чтобы он был шире очищенной части.

7. Нанесите на бумагу каплю 1% мыльного раствора.

8. Протрите объектив один раз в одном направлении. Если требуется больше протирания, используйте новый тампон и бумагу.

9. Повторите шаги 2-4, используя бумагу, смоченную дистиллированной водой. Чтобы стереть остатки мыла.

10. Смочите бумагу метанолом или этанолом и повторите шаги со 2 по 4.