Карбид кремния-очень твердый материал, похожий на алмаз, с хорошей теплопроводностью и химической стабильностью. Зеркала из карбида кремния используют эти свойства материалов из карбида кремния для достижения отражения света и фокусировки.
Зеркало из карбида кремния является основным компонентом высокопроизводительной оптической системы, и его производительность очень важна для эффекта наблюдения.
Сканирующее зеркало кремния, как правило, изготовлено из монокристаллического кремниевого материала, который является своего рода высокопроизводительным оптическим элементом с отличной термической стабильностью и оптическими свойствами. Силиконовое сканирующее зеркало широко используется в лазерных радарах, оптических измерениях, лазерной обработке и других областях.
Зеркало сканирования кремния вообще сделано технологии точности подвергая механической обработке как вырезывание, молоть и полировать, и имеет характеристики высокой точности и высокого поверхностного финиша. В LiDAR зеркало сканирования кремния может использоваться в качестве сканирующего элемента для завершения сканирования и позиционирования политики путем манипулирования направлением отраженного света. При оптическом измерении кремниевое сканирующее зеркало можно использовать в качестве сканирующего или модулирующего элемента для завершения точного контроля и измерения луча. При лазерной обработке кремниевое сканирующее зеркало можно использовать для управления мощностью и формой луча лазера для завершения прецизионной обработки различных материалов.
Зеркало сканирования кремния проконтролировано направлением отраженного света для того чтобы завершить сканирование и располагать политики. В частности, когда лазер объявляет лазерный луч, луч попадает на поверхность кремниевого сканирующего зеркала и отражается через эффект зеркала. Путем манипулирования вращением или движением движения кремниевого сканирующего зеркала можно изменить направление отраженного луча, а затем можно завершить сканирование и позиционирование луча. В LiDAR сканирующее движение зеркала сканирования кремния может завершить 3D-сканирование и визуализацию окружающей среды, чтобы завершить обнаружение и позиционирование политики. При оптическом измерении эффекты сканирования и модуляции кремниевого сканирующего зеркала могут обеспечить точный контроль и измерение светового луча, чтобы завершить измерение размера, формы, расстояния и других параметров объекта.
Короче говоря, силиконовое сканирующее зеркало завершает сканирование и позиционирование политики, точно манипулируя направлением отраженного света, обеспечивая высокоточное и надежное решение для различных приложений.
Материал | Si кристалл P или N |
Чистота | 5н-9н |
Ориентация кристалла | <100> или <111> |
Допуск размера | ± 0,02/± 0,1 мм |
Параллелизм | Лучше 3 угловых мин. |
Качество поверхности | 60/40 или лучше |
Плоскостность: | Λ/8 @ 632 нм |
Размер | Размер луча |
Д * Ш * Т (мм) | |
8,4x11,5x1,05 | 5 |
9x12x1,05 | 5 |
12,6x15x1,7 | 8 |
10,6x25,4x1,7 | 8 |
13,7x20,3x2 | 10 |
13,69x20,32x1,5 | 10 |
20x25x2 | 12 |
19x32x2 | 12 |
17,78x24,43x1,5 | 12 |
17,2x22,5x1,2 | 12 |
24,8x39,4x3,2 | 16 |
23x34x2 | 16 |
23x30x2 | 16 |
21x30x2 | 16 |
30x35x2 | 20 |
27x32x2 | 20 |
25x30x2 | 20 |
35x45x2 | 25 |
34x55x4 | 25 |
46,7x70,1x4 | 30 |
45x70x4 | 30 |
43x63x4 | 30 |
30 | |
60x80x4 | 40 |
47x76x5 | 40 |